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全自動單瓶特氣柜的特點講解

2025-08-12 10:02:33        0

       全自動單瓶特氣柜的特點講解。全自動單瓶特氣柜是專為存儲和管理單瓶特種氣體設(shè)計的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、LED、光伏太陽能、生物醫(yī)藥等對氣體純度和安全性要求極高的行業(yè)。其核心特點可歸納為以下幾個方面:

        

一、安全防護(hù):多重保障,無懈可擊

防爆設(shè)計

柜體采用防爆材質(zhì)(如SS316L不銹鋼)和防爆自鎖門,搭配防爆玻璃觀察窗,確保在氣體泄漏或爆炸風(fēng)險下仍能保持結(jié)構(gòu)完整,防止火源或腐蝕性物質(zhì)侵入。

泄漏監(jiān)測與報警

內(nèi)置高精度氣體泄漏探測器,實時監(jiān)測柜內(nèi)氣體濃度。一旦檢測到泄漏,立即觸發(fā)聲光報警,并通過短信或電話通知操作人員,同時自動啟動排風(fēng)系統(tǒng),將泄漏氣體排出室外。

緊急切斷功能

當(dāng)設(shè)定報警信號被觸發(fā)(如氣體濃度超標(biāo)、壓力異常等),系統(tǒng)會自動切斷氣體供應(yīng),防止事故擴(kuò)大。部分型號還支持遠(yuǎn)程緊急切斷,提升應(yīng)急響應(yīng)速度。

防爆電控箱與高溫報警

電控箱采用防爆設(shè)計,避免電氣火花引發(fā)危險;高溫探測報警功能可實時監(jiān)測柜內(nèi)溫度,防止因過熱導(dǎo)致氣體分解或爆炸。

二、高效管理:智能控制,精準(zhǔn)操作

PLC控制系統(tǒng)

以可編程邏輯控制器(PLC)為核心,搭配觸摸屏人機(jī)界面,實現(xiàn)設(shè)備自動化運行。操作人員可通過觸摸屏設(shè)定參數(shù)、監(jiān)控狀態(tài),并一鍵執(zhí)行吹掃、切換、報警確認(rèn)等操作,大幅簡化流程。

自動吹掃與切換

支持自動吹掃功能,在更換氣瓶或設(shè)備啟動前,用惰性氣體(如氮氣)清空管路,防止交叉污染;自動切換功能確保當(dāng)氣瓶壓力低于設(shè)定值時,系統(tǒng)自動切換至備用氣瓶,實現(xiàn)不間斷供氣。

遠(yuǎn)程監(jiān)控與操作

通過網(wǎng)絡(luò)或硬件接口,可將設(shè)備狀態(tài)(如操作狀況、報警信息、供氣壓力等)上傳至中控系統(tǒng),實現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控和操作。部分型號還支持手機(jī)APP控制,方便管理人員隨時掌握設(shè)備運行情況。

數(shù)據(jù)記錄與追溯

系統(tǒng)詳細(xì)記錄所有報警信息,包括報警時間、結(jié)束時間、確認(rèn)時間及信息摘要,便于后續(xù)分析和追溯。同時支持操作日志記錄,確保每一步操作都可查可控。

三、高純輸出:精密過濾,純凈保障

多級過濾系統(tǒng)

內(nèi)置前端0.1μm過濾器和后端0.001μm終端過濾器,有效去除氣體中的顆粒、水分和雜質(zhì),確保輸出氣體純度達(dá)到行業(yè)最高標(biāo)準(zhǔn)(如9N以上),滿足半導(dǎo)體制造等高精度工藝需求。

穩(wěn)壓穩(wěn)流技術(shù)

采用先進(jìn)的穩(wěn)壓穩(wěn)流技術(shù),確保輸出氣體的壓力和流量恒定,不受外界因素(如氣瓶壓力下降、環(huán)境溫度變化)干擾,保障工藝穩(wěn)定性。

四、穩(wěn)定運行:可靠設(shè)計,持久耐用

高穩(wěn)定性控制主體

PLC控制系統(tǒng)動作可靠,故障率低,確保設(shè)備長期穩(wěn)定運行。部分型號采用三菱PLC系統(tǒng),具備快速服務(wù)、備件支持、在線技術(shù)支持等優(yōu)勢。

抗干擾性強(qiáng)

全封閉式金屬箱體設(shè)計,有效屏蔽外界電磁干擾,保障設(shè)備在復(fù)雜工業(yè)環(huán)境中穩(wěn)定工作。

模塊化設(shè)計

面板部件采用模塊化結(jié)構(gòu),便于維護(hù)和升級。所有接口均采用VCR接口,確保密封性和可靠性,減少泄漏風(fēng)險。

五、定制化服務(wù):靈活適配,滿足多樣需求

選配功能豐富

可根據(jù)用戶需求選配工藝氣瓶重量監(jiān)控器、工藝氣體超壓報警、盤面加熱及溫控裝置、報警信號手機(jī)短信與電話通知等功能,提升設(shè)備適用性。

支持特殊氣體存儲

適應(yīng)燃爆性氣體(如氫氣、甲烷、乙炔)和毒腐性氣體(如二氧化硫、硫化氫、氯化氫)的存儲需求,通過特殊材質(zhì)和安全設(shè)計,確保危險氣體安全可控。

行業(yè)定制化方案

針對不同行業(yè)(如半導(dǎo)體、光伏、生物醫(yī)藥)的特殊需求,提供定制化解決方案,包括柜體尺寸、材質(zhì)選擇、內(nèi)部布局、氣體種類及純度要求等,確保設(shè)備與具體工作流程無縫對接。

六、應(yīng)用場景:廣泛覆蓋,助力產(chǎn)業(yè)升級

全自動單瓶特氣柜廣泛應(yīng)用于以下領(lǐng)域:

半導(dǎo)體制造:為MOCVD、PECVD、刻蝕機(jī)等設(shè)備提供高純度、穩(wěn)定供應(yīng)的特種氣體。

光伏太陽能電池:支持硅材料生長、電池片制造等工藝對特種氣體的需求。

生物醫(yī)藥工程:為實驗室或生產(chǎn)線提供純凈、安全的特種氣體,保障實驗結(jié)果和生產(chǎn)質(zhì)量。

材料分析實驗室:滿足高精度分析儀器對氣體純度和穩(wěn)定性的要求。